「埋込み工程」におけるトラブルシューティング

​本講義では、微細構造検査用試料作製工程の切断・埋込み・研磨・観察において試料作製の第二工程である「埋込み」で起こる不具合について紹介し、それぞれの不具合の対応策（トラブルシューティング）をご紹介いたします。

微細構造検査試料作製におけるプロセスは、切断、埋込み、研磨、という各工程において適切な作業が必要です。

微細構造検査試料作製時の「埋込み工程」での不具合やミスは、その後に続く研磨工程に大きな影響を及ぼし、その試料作製全体に致命的なダメージを及ぼします。また、希少な試料での埋込み作業の失敗で、やり直しのきかないことも起こりえます。

講義でご紹介する不具合や対応策（トラブルシューティング）を知ることで正しい埋込み作業を実施し、次工程である研磨での不具合も減らすことができるでしょう。

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